INFICON UL1000 Helium leak detector - Instrukcja (Strona 45)

Opis i sposób działania
45
iina
70p 04.
fm
Instrukcja obsługi
(1
10
8)
4.3 Tryby pracy
4.3.1 Tryb próżniowy
Jak już wspomniano (patrz rozdział 4.2.1 System próżniowy ), badany obiekt
powinien być odpompowany, aby hel, którym owiewany jest badany obiekt,
mógł przeniknąć przez możliwe nieszczelności na podstawie różnicy ciśnienia.
Wybierając Klawisz START , otwierają się zawory V1a oraz V1b, a badany przed-
miot zostaje odpompowany przez pompę próżni wstępnej (UL1000) albo
spiralną pompę próżniową (UL1000 Fab). Równocześnie zawór V2 zostaje
zamknięty, aby zapobiec niedopuszczalnemu wzrostowi ciśnienia w turbo-
pompie i w spektrometrze masowym. Przy zamkniętym zaworze V2 turbo-
pompa pracuje bez wsparcia spiralnej pompy próżniowej. Ponieważ spektro-
metr masowy już jest odpompowany, nie zostaje stamtąd pompowany dalszy
gaz. Z tego powodu ciśnienie p
2
pozostaje stałe albo tylko powoli wzrasta.
Jeśli np. z powodu bardzo wolnego odpompowywania, ciśnienie P
2
jednak
wzrośnie, to przy P
2
> 10 mbar odpompowanie zostanie przerwane (V1a i V1b
zamknięte), a V2 zostanie na chwilę otwarty, aby ponownie wytworzyć
odpowiednią próżnię wstępną (P
2
< 1 mbar).
Na poniższych schematach przedstawiono strumień gazu podczas
odpompowania i podczas trybów GROSS, FINE oraz ULTRA.
Warunki dla opisanego procesu odpompowania zostają zachowane, dopóki
ciśnienie wlotowe p
1
nie spadnie poniżej 15 mbar. Teraz otwiera się zawór V2.
Potencjalnie występujący hel może płynąć w kierunku przeciwnym
(przeciwprąd) do spektrometru masowego, gdzie zostaje wykrywany. Tryb ten
nazywa się GROSS; dolna granica wyświetlana wynosi 1×10
-6
mbar l/sek.
Ponieważ spiralna pompa próżniowa dalej odpompowuje badany przedmiot,
ciśnienie wlotowe p
1
dalej opada. Poniżej 2 mbar UL1000 und UL1000 Fab
przełącza się w tryb FINE, tzn. zawór V4a otwiera się, a zawór V1b zamyka się.
Strumień gazu wchodzi do turbopompy na poziomie pośrednim. Czułość syste-
mowa jest teraz większa, dolna granica wyświetlana wynosi 1×10
-10
mbar l/sek.
Rys. 4-6: lewy: Odpompowanie (brak pomiaru), prawy: tryb GROSS
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
V5
V4a
V4b
p
2
V2
MS
V6
V7
p
1
V1b
V1a
V5
TL
V8
V5