INFICON UL1000 Helium leak detector - Instrukcja (Strona 112)

112
Konserwacja
iina
70p 09.
fm
Instrukcja obsługi
(1
10
8)
9.5.4 konserwacja co 16000 godz.
Konserwacja po 16000 godz. powinna być przeprowadzona przez serwisanta
INFICON albo osobę autoryzowaną przez INFICON.
Osiągając 16000 godzin pracy, przewidywany czas trwałości łożysk dla
turbopompy oraz różnych rodzajów pomp próżni wstępnej jest już osiągnięty.
Główki spirali (IWATA ISP 500 albo Varian TS 620) oraz turbopompa powinny
zostać wymienione. Dla D16 B w UL1000 zaleca się kapitalny remont.
Czas pracy przeznaczony na konserwację wynosi ok. 10,0 godzin, w przypadku
gdy wymienia się TMH 071.
9.5.5 Informacje dotyczące konserwacji TMH 071
Pompa turbomolekularna TMH 071 napełniona jest czynnikiem pompującym
do smarowania łożyska kulowego. Pojemnik oleju pompy powinien być
wymieniany raz na 2 lata, niezależnie od osiągniętej liczby godzin pracy turbo-
pompy. Wymiana pojemnika oleju pompy powinna być przeprowadzona przez
serwisanta INFICON albo osobę autoryzowaną przez INFICON.
Prace do przeprowadzenia Potrzebne materiały Nr
zamówienia
wymienić główkę spirali (IWATA ISP-500B) • główka spirali dla IWATA ISP-500B 200000217R
wymienić główkę spirali (Varian TS 620) • główka spirali Varian TS 620 200001665R
wyremontować pompę próżni wstępnej D16
(tylko UL1000) • kapitalnie wyremontowana pompa
próżni wstępnej D16 B
wymienić TMH 071 • turbopompa TMH 071 200000569R
rozłożyć/wyczyścić blok zaworowy
wymienić uszczelki zaworów
• komplet uszczelek bloku zaworowego
• zestaw uszczelek zaworów
200000593
200000594
sprawdzić/wymienić filtr • komora filtracyjna dla wentylatora
• filtr wymienny dla przewodu gazu
płuczącego i przepływu
• tłumik dla układu wydechowego (tylko
UL1000 Fab)
• wkład do filtra oleju (10 szt.) tylko
UL1000
200000685
200000683
20099183
200000694
Zalecana wymiana łożyska TMH 071 po 3
latach bez ograniczenia czasu eksploatacji!
Patrz rozdział
9.5.5
• Wymiana turbopompy TMH 071 200000569R
sprawdzenie i zestrojenie