INFICON UL1000 Helium leak detector - Instrukcja (Strona 39)

Opis i sposób działania
39
iina
70p 04.
fm
Instrukcja obsługi
(1
10
8)
4 Opis i sposób działania
4.1 Wprowadzenie
UL1000 oraz UL1000 Fab to helowe wykrywacze nieszczelności dla zastosowań
próżniowych, tzn. w badanym obiekcie podczas kontroli zostaje wytworzona
próżnia. Próżnia zostaje wytworzona za pomocą zintegrowanego systemu
pomp.
Kolejny tryb pracy UL1000 und UL1000 Fab to tryb sondy zasysającej, który
może być wykorzystywany tylko w połączeniu z przewodem sondy zasysającej
(patrz rozdział
1.4.2 Osprzęt i opcje ).
4.2 Budowa UL1000 / UL1000 Fab
UL1000 und UL1000 Fab to samodzielna jednostka w metalowej obudowie na
kółkach. Obudowa zawiera cały system próżniowy i odpowiednie zasilanie
energią. Na górze wykrywacza nieszczelności znajduje się kołnierz wlotowy i
monitor.
4.2.1 System próżniowy
Spektrometr masowy składa się głównie ze źródła jonów, magnetycznej
jednostki rozdzielającej i łapacza jonów.
Molekuły gazu trafiające do spektrometru masowego jonizowane są przez
źródło jonów. Dodatnio naładowane cząsteczki są przyspieszane na torze
kołowym do środka pola magnetycznego. Promień toru kołowego zależy od
proporcji masy do ładunku elektrycznego jonów. Tylko jony helu są w stanie
przejść przez ten filtr by w ten sposób trafić do łapacza jonów, gdzie strumień
jonów mierzony jest jako prąd elektryczny.
Do pracy spektrometru masowego wymagane jest ciśnienie próżniowe w
zakresie < 1×10
-4
mbar albo mniej. Ciśnienie to wytwarzane jest przez pompę
turbomolekularną, która wspierana jest z kolei przez spiralną pompę
próżniową.
Obok funkcji systemu pomp służących do wytwarzania i utrzymywania
ciśnienia w spektrometrze masowym, system pomp służy do wytworzenia
próżni w badanych obiektach. Zabezpiecza to w sposób ciągły, aby ciśnienie w
spektrometrze masowym było wystarczające niskie. Zawory V1a, V1b, V2, V4a,
V4b sterują strumieniem gazu podczas pomiaru. Zawory V5 (tylko UL1000), V6
i V8 używane są do napowietrzania systemu i turbopompy. Zawór V7 otwiera i
zamyka wewnętrzną nieszczelność wzorcową podczas kalibracji.
Poniższy schemat próżniowy pokazuje najważniejsze komponenty we wnętrzu
UL1000 und UL1000 Fab: