INFICON UL1000 Helium leak detector - Instrukcja (Strona 40)

40
Opis i sposób działania
iina
70p 04.
fm
Instrukcja obsługi
(1
10
8)
Jeśli ciśnienie w badanym obiekcie jest niższe niż ciśnienie z otoczenia, to w
przypadku nieszczelności do obiektu badanego może przeniknąć hel, którym
obiekt jest owiewany. O ile warunki ciśnienia pozwalają, to jeden z zaworów
otwiera się w kierunku TMP. W ten sposób hel może trafić do spektrometru
masowego w przeciwnym kierunku niż TMP (prąd zwrotny).
Dalsze szczegóły patrz rozdział 4.3 Tryby pracy .
Rys. 4-1: Schemat próżniowy UL1000 / UL1000 Fab
Poz. Opis
1 MS: Spektrometr masowy, czujnik helu (180° sektorowe pole magnety-
czne spektrometru masowego)
2 Pompa turbomolekularna (TMP, służy do wytwarzania wysokiej próżni
potrzebnej dla MS)
3 V1a … V8: Zawory elektromagnetyczne sterujące strumieniami gazu
4 Spiralna pompa próżniowa (służy do wytworzenia ciśnienia próżni
wstępnej dla TMP i odpompowuje badane obiekty)
5 Kołnierz wlotowy