INFICON UL1000 Helium leak detector - Instrukcja (Strona 122)

122
Konserwacja
iina
70p 09.
fm
Instrukcja obsługi
(1
10
8)
9.12 Pompa turbomolekularna TMH 071
Pompa turbomolekularna powinna być konserwowana raz na rok albo po 4000
godzinach pracy. Dla dalszych szczegółowych informacji patrz instrukcja
obsługi PFEIFFER PM 800 504 BN/F oraz PT 0017 BN/B. Zalecamy przeprowad-
zenie prac konserwacyjnych przez serwis INFICON albo jednego z serwisantów
autoryzowanych przez INFICON.
9.13 Spiralne pompy próżniowe (tylko UL1000 Fab)
Częstotliwości konserwacji różnych spiralnych pomp próżniowych (IWATA,
VARIAN) znajdują się w planie konserwacyjnym w
9.4 .
Konserwacja spiralnych pomp próżniowych powinna być przeprowadzona
wyłącznie przez serwis INFICON albo serwisantów autoryzowanych przez
INFICON.