Plan konserwacji, 4 plan konserwacji – INFICON UL1000 Helium leak detector Instrukcja Obsługi
Strona 108
108
Konserwacja
iina
70p 09.
fm
Instrukcja obsługi
(1
10
8)
9.4
Plan konserwacji
Podzespoły
Konserwacja
Godziny pracy/lata
Stopień
serwisu
Numer
UL1000 / UL1000 Fab
1500
4000
8000
16000
części
zamiennej
1/4
1
2
System próżniowy
Pompa próżni
wstępnej D16 B
sprawdzić poziom oleju, ewentualnie
wymienić
X
I i II
wymienić olej
2
X
II
20028181
przeprowadzić przegląd pompy próżni
wstępnej
X
III
spiralna pompa
próżniowa IWATA
wymienić główkę spirali
X
III
200000021R
ISP 500
spiralna pompa
próżniowa Varian
wymienić uszczelkę dyszy
X
1
III
200001671
TS 620
wymienić główkę spirali
X
III
200001665R
TMH 071
wymienić pojemnik oleju pompy
X
2
II i III
200000577
Wymiana łożyska
X
2
III
blok zaworowy
wyczyścić zawory, wymienić uszczelki
zaworów
2
X
III
200000594
rozłożyć i wyczyścić blok zaworowy
2
X
III
200000593
wymienić przewód gazu płuczącego do
filtra
1
X
1
I, II, III
200000683
zestroić Pirani
X
III
tłumik UL1000 Fab
wymienić
X
1
I, II, III
20099183
filtr wydechowy
UL1000
sprawdzić, opróżnić
X
I, II, III
wymienić wkład filtra
X
1
I, II, III
200000694
Instalacja elektry-
czna
Podzespoły
wentylatora
przedmuchać wentylator chassis-
ściana-podłoga
1
X
1
I
wymienić komorę filtracyjną dla
wentylatora chassis-ściana
1
X
1
I
200000685