INFICON UL1000 Helium leak detector - Instrukcja (Strona 103)

Komunikaty błędu i komunikaty ostrzeżenia
103
iina
70p 08.
fm
Instrukcja obsługi
(1
10
8)
W46 Emission der Kathode 2
kann nicht eingeschaltet
werden! (Emisja katody 2
nie może być włączona!)
Sygnał MSIBE na płycie MSV nie jest aktywny. Emisja dla katody 2 nie
może być włączona. UL1000 / UL1000 Fab przełącza się na katodę 1.
Zamówić nowe źródło jonów.
E47 Emission kann auf beiden
Kathoden nicht einge-
schaltet werden! (Emisja
nie może być włączona na
obu katodach!) Sygnał MSIBE na płycie MSV nie jest aktywny. Emisja nie może być
włączona. Zamienić katodę przez wymianę źródła jonów. Po
wymianie źródła jonów w menu serwis powinno być możliwe ręczne
włączanie obu katod.
E48 Anodenheizung defekt!
(Żarzenie anody uszkod-
zone!) Sygnał MSAFD na płycie MSV jest aktywny. Bezpiecznik dla żarzenia
anody jest przepalony.
Wymienić bezpiecznik F2 na płycie MSV.
E50 Keine Kommunikation mit
der Turbopumpe. (Brak
komunikacji z turbo-
pompą.) Uszkodzony zegar przemiennika częstotliwości. Brak komunikacji z
przemiennikiem częstotliwości.
E52 Turbopumpen-Frequenz zu
klein! (Częstotliwość turbo-
pompy za mała!) • Prędkość obrotowa pompy turbomolekularnej jest za mała.
• Przemiennik częstotliwości jest uszkodzony.
• Pompa turbomolekularna jest uszkodzona.
W53 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu hoch!
(Temperatura na
podzespołach elektronicz-
nych jest za wysoka!)
(> 55°C)
• Temperatura otoczenia jest za wysoka.
• Wentylator nie działa.
• Filtr powietrza jest zanieczyszczony.
E 54 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu hoch!
(Temperatura na
podzespołach elektronicz-
nych jest za wysoka!)
(> 60°C)
• Temperatura otoczenia jest za wysoka.
• Napowietrzanie wewnętrzne nie działa.
• Filtry powietrza są zanieczyszczone i powinny być wymienione.
W55 Temperatur an der Elektro-
nikbaugruppe ist zu klein
(< 2°C). (Temperatura na
podzespołach elektronicz-
nych jest za mała).
• Czujnik temperatury na powierzchni okablowania wskazuje, że T <
2°C. Dłuższy czas rozruchu dla pompy próżni wstępnej.
• Czujnik temperatury jest uszkodzony.
E56 Einlassdruck p1 zu niedrig!
(Ciśnienie wlotowe p1 za
niskie!) U < 0,27 V; uszkodzona katoda.
Wymienić czujnik Thermovac, mierzący P
1
.
E58 Vorvakuumdruck p2 zu
niedrig! (Ciśnienie próżni
wstępnej p2 za niskie!) U < 0,27 V; uszkodzona katoda.
Wymienić czujnik Thermovac, mierzący P
2
.
E60 p2 > 10 mbar nach 5
Minuten seit dem
Einschalten. (p2 > 10 mbar
po 5 minutach od momentu
włączenia.) PV > 3,8 mbar po t > 5 minut po włączeniu. Czas rozruchu pompy
próżni wstępnej jest za długi.
• Pompa próżni wstępnej jest uszkodzona.
• Zawór V2 nie otwiera się.
E61 Emission fehlerhaft.
(Błędna emisja.) Emisja powinna być włączona. Podzespół MSV sygnalizuje błąd. Prąd
emisyjny MENB poza dopuszczalnym zakresem.
Nr Wyświetlony komunikat Opis i możliwości usunięcia przyczyny błędu